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  Self-calibration strategies for reducing systematic slope measurement errors of autocollimators in deflectometric profilometry 降低偏转轮廓术中自准直器系统斜率测量误差的自校准策略
相关领域
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期刊：Journal of Synchrotron Radiation 作者：Ralf D. Geckeler; A. Just; M. O. Krause; Olaf Schnabel; Ian Lacey; et al 出版日期：2024-06-05 |
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