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Study on OH radical oxidation of 4H-SiC in plasma based on ReaxFF molecular dynamics simulation 基于ReaxFF分子动力学模拟的4H-SiC等离子体中OH自由基氧化研究
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期刊:Journal of Molecular Liquids 作者:Dongxiao Yan; Hui Huang; Yuxiang Huang; Hao Yang; Nian Duan 出版日期:2024-03-25 |
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