Chemical mechanical polishing of synthetic quartz using UV/ozone-treated CeO2 slurry

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标题	Chemical mechanical polishing of synthetic quartz using UV/ozone-treated CeO2 slurry UV/臭氧处理CeO2浆料对合成石英的化学机械抛光相关领域材料科学抛光泥浆化学机械平面化石英臭氧复合材料化学工程冶金有机化学化学工程类
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.matlet.2024.137856
DOI	10.1016/j.matlet.2024.137856 doi
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