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Enhanced control of cathode arcing during sputter deposition of insulating films
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网址
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2025.132409
DOI
10.1016/j.surfcoat.2025.132409 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：Gayatri Rane; Philipp Dürrenfeld; U. Krause; Denis M. Shaw
出版日期：2025-06-17
求助人
zhou 在 2026-01-14 09:15:09 发布自福建，悬赏 10 积分
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