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Enhanced control of cathode arcing during sputter deposition of insulating films

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作者
Gayatri Rane,Philipp Dürrenfeld,U. Krause,Denis M. Shaw
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier]
卷期号:512: 132409-132409
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2025.132409

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