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Ammonium chloride (–NH3+Cl-) salt formation from dichlorosilane decomposition and its potential impact on silicon nitride atomic layer deposition
二氯硅烷分解生成氯化铵(-NH3+Cl-)盐及其对氮化硅原子层沉积的潜在影响
相关领域
二氯硅烷
氮化硅
原子层沉积
分解
化学
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硅
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无机化学
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化学气相沉积
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氮化物
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期刊:Applied surface science 作者:Tsung-Hsuan Yang; Erik S. Cheng; Samuel M. Johnson; Toshihiko Iwao; Junfeng Zhao; et al 出版日期:2023-08-01 |
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