MEMS microfluidic glucose sensor fabricated by laser direct writing and LOR lift-off

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标题	MEMS microfluidic glucose sensor fabricated by laser direct writing and LOR lift-off 激光直写和LOR剥离制备MEMS微流体葡萄糖传感器
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2023.111789
DOI	10.1016/j.mee.2023.111789 doi
其它	谷歌关键词：Microelectron Eng LOR lift-off glucose laser 亮点：完整给出 LOR3A/S1813 双层剥离流程 + 微流控 SU-8 池
求助人	王帅在 2025-08-06 21:37:21 发布自湖北，悬赏 10 积分
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