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标题
Dynamic Modeling of a MEMS Electro-Thermal Actuator Considering Micro-Scale Heat Transfer With End Effectors
考虑末端执行器微尺度传热的MEMS电热致动器动力学建模
相关领域
微电子机械系统 执行机构 传热 热的 机械工程 材料科学 比例（比率） 控制工程 控制理论（社会学） 计算机科学 工程类 机械 电气工程 纳米技术 物理 热力学 控制（管理） 人工智能 量子力学
网址
https://doi.org/10.1109/jmems.2024.3363622
DOI
10.1109/jmems.2024.3363622 doi
其它 期刊：Journal of Microelectromechanical Systems
作者：Hengbo Zhu; Yun Cao; Wanli Ma; Xiaoyu Kong; Shenghong Lei; et al
出版日期：2024-02-22
求助人
wwwww 在 2025-11-06 00:57:14 发布自罗马尼亚，悬赏 10 积分
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  • 2小时前

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