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 Sputter deposition of stress-controlled piezoelectric AlN and AlScN films for ultrasonic and energy harvesting applications 用于超声和能量收集应用的应力控制压电AlN和AlScN薄膜的溅射沉积
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期刊：IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency Control 作者：S. Barth; Hagen Bartzsch; Daniel Gloess; Peter Frach; Thomas Herzog; et al 出版日期：2014-07-30 |
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