| 标题 |
[高分]
 A Study of Dry Etching Characteristics of Polyimide Films in Flexible Displays with Trench Structures 沟槽结构柔性显示器中聚酰亚胺薄膜干法刻蚀特性的研究
相关领域
聚酰亚胺
材料科学
沟槽
干法蚀刻
蚀刻（微加工）
光电子学
复合材料
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Science of Advanced Materials 作者：Young Jun Lee; Seon-Geun Oh; Byeong Jun Kim; Hongsik Kim; Jae‐Hong Jeon; et al 出版日期：2016-02-25 |
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