A Study of Dry Etching Characteristics of Polyimide Films in Flexible Displays with Trench Structures

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标题	[高分] A Study of Dry Etching Characteristics of Polyimide Films in Flexible Displays with Trench Structures 沟槽结构柔性显示器中聚酰亚胺薄膜干法刻蚀特性的研究相关领域聚酰亚胺材料科学沟槽干法蚀刻蚀刻（微加工）光电子学复合材料图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1166/sam.2016.2543
DOI	10.1166/sam.2016.2543 doi
其它	期刊：Science of Advanced Materials 作者：Young Jun Lee; Seon-Geun Oh; Byeong Jun Kim; Hongsik Kim; Jae‐Hong Jeon; et al 出版日期：2016-02-25
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