Study of the structural and optical properties of microcrystalline silicon film

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标题	Study of the structural and optical properties of microcrystalline silicon film 相关领域材料科学微晶等离子体增强化学气相沉积微晶硅拉曼光谱无定形固体非晶硅硅纳米晶硅化学气相沉积谱线分析化学（期刊）光学光电子学晶体硅化学结晶学物理色谱法天文
网址	https://doi.org/10.7498/aps.55.98
DOI	10.7498/aps.55.98 doi
其它	期刊：Acta Physica Sinica 作者：Xiaoyong Gao; Li Rui; Yongsheng Chen; Jingxiao Lu; Ping Liu; et al 出版日期：2006-01-01
求助人	langyu 在 2025-10-13 22:54:30 发布自福建，悬赏 10 积分
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