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标题
Optimal design of wafer back-grinding feeding profile considering subsurface damage and productivity
考虑亚表面损伤和生产率的晶圆背磨进给轮廓优化设计
相关领域
研磨 生产力 薄脆饼 工程类 环境科学 材料科学 机械工程 纳米技术 经济 宏观经济学
网址
https://doi.org/10.1007/s00542-024-05648-5
DOI
10.1007/s00542-024-05648-5 doi
其它 期刊：Microsystem Technologies
作者：Byeong-Geon Kim; ByungHyun Hwang; Kyoung‐Su Park
出版日期：2024-04-22
求助人
Mie 在 2025-08-29 21:36:30 发布，悬赏 10 积分
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