Investigation on charged particles in inductively coupled Ar/O2 plasmas: The role of Ar proportion

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标题	Investigation on charged particles in inductively coupled Ar/O2 plasmas: The role of Ar proportion 相关领域离子电离原子物理学带电粒子氩等离子体亚稳态解离重组电子物理感应耦合等离子体分析化学（期刊）电子俘获反应速率电子电离等离子体诊断等离子体参数高电荷离子重组费用交换电场溅射
网址	https://doi.org/10.1063/5.0098152
DOI	10.1063/5.0098152 doi
其它	期刊：Physics of Plasmas 作者：Xin-Qian Zhao; Ying-Shuang Liang; Yuanyuan Guo 出版日期：2022-11-01
求助人	piukor 在 2025-11-04 14:31:59 发布自江苏，悬赏 10 积分
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