Impurity engineering of Czochralski silicon used for ultra large-scaled-integrated circuits

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标题	Impurity engineering of Czochralski silicon used for ultra large-scaled-integrated circuits 相关领域吸气剂杂质薄脆饼硅材料科学集成电路兴奋剂锗碳纤维光电子学化学复合材料复合数有机化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2008.09.194
DOI	10.1016/j.jcrysgro.2008.09.194 doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Deren Yang; Jiahe Chen; Xiangyang Ma; Duanlin Que 出版日期：2008-10-15
求助人	kk 在 2025-09-22 18:35:26 发布自河南，悬赏 10 积分
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