Influence of sputtering power on optical, electrical properties and structure of aluminum-doped indium saving indium-tin oxide thin films sputtered on preheated substrates

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标题	Influence of sputtering power on optical, electrical properties and structure of aluminum-doped indium saving indium-tin oxide thin films sputtered on preheated substrates 溅射功率对溅射在预热衬底上的掺铝省铟氧化铟锡薄膜光学、电学性能和结构的影响相关领域 X射线光电子能谱铟薄膜氧化铟锡材料科学溅射分析化学（期刊）兴奋剂透明导电膜氧化物透射率光电子学化学纳米技术冶金化学工程工程类色谱法
网址	https://doi.org/10.1080/15421406.2022.2073534
DOI	10.1080/15421406.2022.2073534 doi
其它	期刊：Molecular Crystals and Liquid Crystals 作者：Svitlana Petrovska; Ruslan Sergiienko; B. Ilkiv; Takashi Nakamura; Makoto Ohtsuka 出版日期：2022-05-10
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