Preparation and characterization of Ti–Zr–V–Cu getter films

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标题	Preparation and characterization of Ti–Zr–V–Cu getter films Ti-Zr-V-Cu吸气剂薄膜的制备与表征相关领域吸气剂材料科学 X射线光电子能谱同步辐射分析化学（期刊）溅射沉积电阻式触摸屏溅射钛光电子学薄膜冶金核磁共振光学纳米技术化学物理电气工程工程类色谱法
网址	https://doi.org/10.1007/s41605-024-00449-w
DOI	10.1007/s41605-024-00449-w doi
其它	期刊：Radiation Detection Technology and Methods 作者：Yuchen Yang; Tao Huang; Na Wang; Jiaou Wang; Saike Tian; et al 出版日期：2024-02-10
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