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 Nano Precision Noncontact Probing System Using Tungsten Ball Tip for High Aspect Ratio Structures With Horizontal Internal Dimensions Below 100 μm 使用钨球尖端的纳米精密非接触探测系统，用于水平内部尺寸小于100 μ m的高纵横比结构
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期刊：IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 作者：Peng Xu; Ruijun Li; Shen Yi; R. Lin; Pan Yao; et al 出版日期：2024-01-01 |
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