Pure-phase Ga2O3 films were deposited on sapphire substrates by radio frequency magnetron sputtering

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标题	Pure-phase Ga2O3 films were deposited on sapphire substrates by radio frequency magnetron sputtering 采用射频磁控溅射法在蓝宝石衬底上沉积了纯相Ga2O3薄膜相关领域材料科学蓝宝石外延溅射沉积溅射基质（水族馆）相（物质）薄膜分析化学（期刊）带隙腔磁控管光电子学光学复合材料纳米技术图层（电子）化学物理地质学有机化学色谱法激光器海洋学
网址	https://doi.org/10.1016/j.matlet.2022.132385
DOI	10.1016/j.matlet.2022.132385 doi
其它	期刊：Materials Letters 作者：Zhengwei Chen; Kunpeng Ge; Dongdong Meng; Xu Chen 出版日期：2022-05-02
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