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标题
Improving the Lifetime of Aluminum-Based Superconducting Qubits through Atomic Layer Etching and Deposition
相关领域
Transmon公司 原子层沉积 材料科学 蚀刻（微加工） 光电子学 电介质 量子位元 电容器 干法蚀刻 制作 纳米点 薄膜 图层（电子） 氧化物 纳米技术 介电损耗 谐振器 电容感应 铌 反应离子刻蚀 沉积（地质） 高-κ电介质 电容 钽 表面改性 薄脆饼
网址
http://dx.doi.org/10.1021/acsnano.5c14022
AI链接 nih.gov arxiv.org arxiv.orgdoi.org
DOI
10.1021/acsnano.5c14022 doi
其它 期刊：ACS Nano
作者：Neha Mahuli; Joaquin Minguzzi; Jiansong Gao; Rachel Resnick; Sandra Diez; et al
出版日期：2025-11-20
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碧蓝的幻梦 在 2026-11-06 10:24:49 发布自上海，悬赏 10 积分
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