Atomistic Modeling Approach for Predicting Association of Photoacid Generators in Extreme Ultraviolet Polymeric Photoresists

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标题	Atomistic Modeling Approach for Predicting Association of Photoacid Generators in Extreme Ultraviolet Polymeric Photoresists
网址	https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.3c01750
DOI	10.1021/acs.chemmater.3c01750 doi
其它	期刊：Chemistry of Materials 作者：B.P. Prajwal; James M. Blackwell; Patrick L. Theofanis; Fernando A. Escobedo 出版日期：2023-10-31
求助人	阿Q 在 2026-09-28 14:51:36 发布自上海，悬赏 10 积分
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