Oxygen precipitation in silicon: Experimental studies and theoretical investigations within the classical theory of nucleation

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标题	Oxygen precipitation in silicon: Experimental studies and theoretical investigations within the classical theory of nucleation
网址	https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/85/12/8097/19038569...
DOI	10.1063/1.370648 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：K. F. Kelton; R. Falster; D. Gambaro; M. Olmo; M. Cornara; et al 出版日期：2002-07-26
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