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标题
Sio2 Surface Passivation Using Aromatic Carboxylic Acid-Added H3po4 Solutions for the Selective Si3n4 Etching of 3d Nand Structures
网址
https://doi.org/10.2139/ssrn.4303296
DOI
10.2139/ssrn.4303296 doi
其它 期刊：Social Science Research Network
作者：Sang-Yeon Lim; T. Kim; Taegun Park
出版日期：2022-01-01
求助人
keyancui 在 2026-10-12 11:14:19 发布自江苏，悬赏 10 积分
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  • 1天前

    keyancui keyancui Lv52 求助人 发起了本次求助

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