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标题
The discharge characteristics of magnetized capacitively coupled Ar/CH4 plasma with different pressure
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6463/ae55b1
DOI
10.1088/1361-6463/ae55b1 doi
其它 期刊：Journal of Physics D: Applied Physics
作者：Gui-Qin Yin; Sheng Tuo; Qiang-Hua Yuan; Zilong Sun; Zhan-Hui Gao; et al
出版日期：2026-03-23
求助人
UNIQ85 在 2026-10-19 21:01:35 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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