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 Square-ring mass triaxial piezoresistive accelerometer with decoupled sensing elements for matched three-axis performance 相关领域
加速度计
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期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems 作者：Jun Wan; Yuqing Mao; Zhengyin Yu; Ke Sun; Heng Yang 出版日期：2026-09-17 |
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(2025-6-4)
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