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Vertical GaN Schottky barrier diodes with ohmic contact on N-polar by the atomic layer deposition of aluminum oxide interfacial layer 原子层沉积氧化铝界面层的N极欧姆接触垂直GaN肖特基势垒二极管
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期刊:Applied Surface Science 作者:Yongkai Yang; Zhengweng Ma; Zhongwei Jiang; Bo Li; Linfei Gao; et al 出版日期:2024-09-19 |
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