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标题
Miniaturized Multi-Cantilever MEMS Resonators with Low Motional Impedance
具有低运动阻抗的小型化多悬臂MEMS谐振器
相关领域
谐振器 悬臂梁 微电子机械系统 材料科学 谐振器耦合系数 电阻抗 螺旋谐振腔 Q系数 共振（粒子物理） 压电 光电子学 声学 电气工程 物理 工程类 复合材料 原子物理学
网址
https://www.mdpi.com/2072-666X/15/6/688/pdf?version=17165289...
AI链接 mdpi.com mdpi.com nih.gov doaj.org nih.govdoi.org
DOI
10.3390/mi15060688 doi
其它 期刊：Micromachines
作者：Haolin Li; Qingrui Yang; Yi Yuan; Shuai Shi; Pengfei Niu; et al
出版日期：2024-05-24
求助人
平常的凛 在 2025-12-05 16:52:17 发布自陕西，悬赏 10 积分
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