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标题
Nanoscale Resist‐Free Patterning of Halogenated Zeolitic Imidazolate Frameworks by Extreme UV Lithography
卤化沸石咪唑骨架的极紫外光刻无抗蚀剂图案化
相关领域
抵抗 纳米尺度 平版印刷术 纳米技术 材料科学 极紫外光刻 沸石咪唑盐骨架 咪唑酯 纳米光刻 光电子学 化学 制作 金属有机骨架 无机化学 吸附 有机化学 医学 病理 替代医学 图层（电子）
网址
https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdfdirect/10.1002/advs.2...
AI链接 wiley.com wiley.com nih.gov kuleuven.be doaj.org nih.govdoi.org
DOI
10.1002/advs.202415804 doi
其它 期刊：Advanced Science
作者：Weina Li; Tianlei Ma; Pengyi Tang; Yunhong Luo; Hui Zhang; et al
出版日期：2025-03-05
求助人
坚定的草丛 在 2025-12-19 22:47:37 发布自河南，悬赏 10 积分
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