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RuAl intermetallic compound of low resistivity scaling and high thermal stability as potential interconnect metallization 低电阻率结垢和高热稳定性的RuAl金属间化合物作为潜在的互连金属化
相关领域
金属间化合物
互连
材料科学
电阻率和电导率
热稳定性
缩放比例
热的
工程物理
冶金
热力学
电气工程
合金
化学工程
物理
计算机科学
工程类
几何学
计算机网络
数学
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Yi-Ying Fang; Yung-Hsuan Tsai; Yu-Lin Chen; Dun‐Jie Jhan; Ming‐Yen Lu; et al 出版日期:2024-04-01 |
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