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  Investigation of sidewall damage induced by reactive ion etching on AlGaInP MESA for micro-LED application 用于micro-LED的AlGaInP台面反应离子刻蚀引起侧壁损伤的研究
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期刊：Journal of Luminescence 作者：Younes Boussadi; N. Rochat; Jean‐Paul Barnes; Badhise Ben Bakir; Philippe Ferrandis; et al 出版日期：2021-01-24 |
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