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标题
Molecular dynamics simulation of the interaction of an Ar/CH4 plasma with a surface: Growth, structure, and sputtering of the deposited C:H films
相关领域
溅射 分子动力学 离子 等离子体 材料科学 碳纤维 碳氢化合物 薄膜 分析化学(期刊) 结晶学 化学物理 化学 纳米技术 计算化学 有机化学 复合材料 物理 复合数 量子力学
网址
DOI
10.1002/ppap.202400084 doi
其它 期刊:Plasma Processes and Polymers
作者:Glenn Otakandza Kandjani; Pascal Brault; Maxime Mikikian; Armelle Michau; Khaled Hassouni
出版日期:2024-06-10
求助人
丸子 在 2026-01-06 15:22:10 发布自上海,悬赏 10 积分
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