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  In Situ Pre-Metallization Cleaning of CoSi2 Contact-Hole Patterns with Optimized Etching Process 相关领域
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期刊：Micromachines 作者：Tae-Min Choi; Eun Su Jung; JinUk Yoo; Hwa Rim Lee; Songhun Yoon; et al 出版日期：2024-11-22 |
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