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标题
Effect of substrate temperature and position on properties of Cu3N thin films deposited by reactive radio frequency magnetron sputtering
相关领域
材料科学 基质（水族馆） 薄膜 无线电频率 溅射沉积 溅射 腔磁控管 光电子学 电信 纳米技术 计算机科学 海洋学 地质学
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108702
DOI
10.1016/j.mssp.2024.108702 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Shanta Majumder; Miho Ohishi; Katsuhiko Saito; Qixin Guo; Md Abdul Majed Patwary; et al
出版日期：2024-07-14
求助人
Lannon 在 2026-01-05 21:51:22 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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