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Characterization of sp2/sp3 hybridization ratios of hydrogenated amorphous carbon films deposited in C2H2 inductively coupled plasmas 相关领域
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期刊:Surface and Coatings Technology 作者:Jie Li; Sun Jung Kim; Seung-Hun Han; Heeyeop Chae 出版日期:2021-07-16 |
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