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[高分]
 Surface Defect Formation on Substrates in Silicon Technology 相关领域
材料科学
薄脆饼
硅
微电子
钝化
化学机械平面化
位错
残余应力
研磨
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磨料
无定形固体
半导体
基质（水族馆）
光电子学
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半导体器件
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晶体缺陷
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磨料加工
非晶硅
表面改性
杂质
表面扩散
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期刊：Advances in Transdisciplinary Engineering 作者：Mykola Kukurudziak 出版日期：2025-10-14 |
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(2025-6-4)
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