A Self-Aligned Process for High-Voltage, Short-Channel Vertical DMOSFETs in 4H-SiC

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标题	A Self-Aligned Process for High-Voltage, Short-Channel Vertical DMOSFETs in 4H-SiC
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/16/29495/01337186.pdf?ar...
DOI	10.1109/ted.2004.835622 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：M. Matin; A. Saha; J.A. Cooper 出版日期：2004-09-28
求助人	stc 在 2026-05-10 21:39:24 发布自湖北，悬赏 10 积分
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