MEMS AlN pyroelectric infrared sensor with medium to long wave IR absorber

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标题	MEMS AlN pyroelectric infrared sensor with medium to long wave IR absorber 具有中长波红外吸收剂的MEMS AlN热释电红外传感器相关领域热电性响应度材料科学功勋摩尔吸收率微电子机械系统光电子学红外线的基质（水族馆）微晶薄膜光学光电探测器纳米技术电介质冶金铁电性地质学物理海洋学
网址	https://doi.org/10.1016/j.sna.2019.111660
DOI	10.1016/j.sna.2019.111660 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Surender P. Gaur; Kamaljit Rangra; Dinesh Kumar 出版日期：2019-10-11
求助人	刀剑在 2025-03-19 15:42:38 发布自山东，悬赏 10 积分
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