Optimal 3D phase-shifting masks in partially coherent illumination

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标题	Optimal 3D phase-shifting masks in partially coherent illumination 部分相干照明中的最佳三维相移掩模相关领域平版印刷术光学临界尺寸光学接近校正薄脆饼遮罩（插图）计算机科学材料科学蚀刻（微加工）光刻不连续性分类光电子学物理纳米技术图层（电子）数学分析视觉艺术艺术数学
网址	https://doi.org/10.1364/ao.50.005567
DOI	10.1364/ao.50.005567 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Xu Ma; Gonzalo R. Arce; Yanqiu Li 出版日期：2011-09-29
求助人	9579 在 2025-04-10 20:15:39 发布自比利时，悬赏 10 积分
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