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标题
Electron density measurements and calculations in a helium capacitively-coupled radio-frequency plasma
氦容性耦合射频等离子体中电子密度的测量和计算
相关领域
容性耦合等离子体 氦 原子物理学 等离子体 无线电频率 电子密度 电子 材料科学 化学 感应耦合等离子体 物理 核物理学 电信 计算机科学
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6595/adb178
AI链接 osti.govdoi.org
DOI
10.1088/1361-6595/adb178 doi
其它 期刊：Plasma Sources Science and Technology
作者：Brian Bentz; Péter Hartmann; Aranka Derzsi; Kevin Youngman; Zoltán Donkó
出版日期：2025-02-01
求助人
无心的闭月 在 2025-07-14 16:07:46 发布自河北，悬赏 10 积分
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