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  Combination of Multiple Operando and In-Situ Characterization Techniques in a Single Cluster System for Atomic Layer Deposition: Unraveling the Early Stages of Growth of Ultrathin Al2O3 Films on Metallic Ti Substrates 原子层沉积的单团簇系统中多种操作和原位表征技术的结合：揭示金属钛衬底上超薄Al2O3薄膜生长的早期阶段
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期刊：Inorganics 作者：Carlos Morales; Ali Mahmoodinezhad; Rudi Tschammer; Yuliia Kosto; Carlos Alvarado Chavarin; et al 出版日期：2023-12-14 |
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