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 Deposition of epitaxial silicon carbide films using high vacuum MOCVD method for MEMS applications 用于MEMS应用的高真空MOCVD法外延碳化硅薄膜的沉积
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期刊：Thin Solid Films 作者：Dong Chan Lim; Hongsub Jee; J.W Kim; Jin Soo Moon; S.-B Lee; et al 出版日期：2004-04-03 |
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