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标题
Design, fabrication and characterization of MEMS probe card for fine pitch IC testing
微间距IC测试用MEMS探针卡的设计、制作与表征
相关领域
聚二甲基硅氧烷 微电子机械系统 材料科学 制作 薄脆饼 基质(水族馆) 图层(电子) 光电子学 电镀 陶瓷 纳米技术 复合材料 医学 海洋学 替代医学 病理 地质学
网址
DOI
10.1016/j.sna.2013.10.004 doi
其它 期刊:Sensors and Actuators A Physical
作者:Tao Yuan; Di Chen; Jingdong Chen; Hualin Fu; Steffen Kurth; et al
出版日期:2013-10-16
求助人
清新的大白 在 2025-06-08 16:31:18 发布自河南,悬赏 10 积分
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