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Design, fabrication and characterization of MEMS probe card for fine pitch IC testing 微间距IC测试用MEMS探针卡的设计、制作与表征
相关领域
聚二甲基硅氧烷
微电子机械系统
材料科学
制作
薄脆饼
基质(水族馆)
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光电子学
电镀
陶瓷
纳米技术
复合材料
医学
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替代医学
病理
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期刊:Sensors and Actuators A Physical 作者:Tao Yuan; Di Chen; Jingdong Chen; Hualin Fu; Steffen Kurth; et al 出版日期:2013-10-16 |
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