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标题
Multi-technique study of composition, structure, and bonding in PECVD amorphous silicon carbide films
PECVD非晶碳化硅薄膜成分、结构和键合的多技术研究
相关领域
材料科学 等离子体增强化学气相沉积 碳化硅 非晶硅 无定形固体 碳化物 硅 复合材料 光电子学 结晶学 晶体硅 化学
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2025.109444
DOI
10.1016/j.mssp.2025.109444 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Scott Greenhorn; Valérie Stambouli; Edwige Bano; F. Pierre; Nicolas Gauthier; et al
出版日期：2025-03-15
求助人
hh 在 2025-07-05 01:23:35 发布自湖北，悬赏 10 积分
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