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 A review of advanced scanning probe microscope analysis of functional films and semiconductor devices 功能薄膜和半导体器件的先进扫描探针显微镜分析综述
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扫描探针显微镜
扩展阻力剖面
扫描电容显微镜
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期刊：Thin Solid Films 作者：Günther Benstetter; Roland Biberger; Dongping Liu 出版日期：2009-04-24 |
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