A review of advanced scanning probe microscope analysis of functional films and semiconductor devices

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作者
Günther Benstetter,Roland Biberger,Dongping Liu
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:517 (17): 5100-5105 被引量:48
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2009.03.176
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