Nucleation delay in atomic layer deposition on a thin organic layer and the role of reaction thermochemistry

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标题	Nucleation delay in atomic layer deposition on a thin organic layer and the role of reaction thermochemistry
网址	http://dx.doi.org/10.1116/1.3625564
DOI	10.1116/1.3625564 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Kevin J. Hughes; James R. Engstrom 出版日期：2011-09-01
求助人	九思在 2026-07-27 10:49:55 发布自江苏，悬赏 10 积分
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