Inverse lithography with adaptive threshold regularization

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标题	Inverse lithography with adaptive threshold regularization
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3052339
DOI	10.1117/12.3052339 doi
其它	期刊：Eighth International Workshop on Advanced Patterning Solutions (IWAPS 2024) 作者：Jiale Liu; Wenjing He; Shuya Deng; Wenhao Ding; Yuhang Wang; et al 出版日期：2024-12-10
求助人	尊嘟假嘟在 2026-07-25 15:56:41 发布自中国香港，悬赏 20 积分
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