Experimental study on femtosecond laser ablation of 4H–SiC substrate

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标题	Experimental study on femtosecond laser ablation of 4H–SiC substrate
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6439/ad1c74
DOI	10.1088/1361-6439/ad1c74 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Z. W. Zhao; Lin Zhao; Yun Peng 出版日期：2024-01-09
求助人	你嵙这个期刊没买在 2026-09-06 21:30:56 发布自山东，悬赏 10 积分
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