Enhanced selectivity of atomic layer deposited Ru thin films through the discrete feeding of aminosilane inhibitor molecules

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标题	Enhanced selectivity of atomic layer deposited Ru thin films through the discrete feeding of aminosilane inhibitor molecules
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2020.148247
DOI	10.1016/j.apsusc.2020.148247 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Jeong‐Min Lee; Jinseon Lee; Ji Won Han; Hwanyeol Park; Se-Jin Kyung; et al 出版日期：2020-10-27
求助人	ADChem_JH 在 2026-09-11 23:37:30 发布自上海，悬赏 10 积分
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