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标题
Determination of chemistry and microstructure in SiOx (0.1x
网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/14/3/693/11605204/6...
DOI
10.1116/1.580373 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者：Jeffrey R. Shallenberger
出版日期：2002-07-27
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采薇 在 2026-07-20 15:57:07 发布自江西，悬赏 10 积分
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