Ion Beam Etching as a Disruptive Integration Strategy for Advanced Logic: From T2T Scaling to Tilted 3D-IC Routing

已完结

文献求助详情

标题	Ion Beam Etching as a Disruptive Integration Strategy for Advanced Logic: From T2T Scaling to Tilted 3D-IC Routing
网址	http://dx.doi.org/10.23919/panpacific70217.2026.11413857
DOI	10.23919/panpacific70217.2026.11413857 doi
其它	期刊：2026 Pan Pacific Strategic Electronics Symposium (Pan Pacific) 作者：Jongsoon Park; Keun Hee Bai; Hyonwook Ra; Seongho Son; Seongjun Hong; et al 出版日期：2026-02-02
求助人	velpro 在 2026-08-12 10:45:20 发布自北京，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

National Center for Biotechnology Information

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让源源不断科研创作灵感的涌现之地

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 蔡从安完成签到，获得积分20

1秒前; Kao的应助被treelet007采纳，获得10

2秒前; 小马甲上传了应助文件

2秒前; Hello的应助被beninsect采纳，获得10

3秒前; jam完成签到，获得积分10

3秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

4秒前; 1121发布了新的文献求助10

5秒前; misaka发布了新的文献求助10

5秒前; Freya完成签到，获得积分10

6秒前; 李健的小迷弟上传了应助文件

6秒前; 猫猫糖完成签到，获得积分10

6秒前; 拉长的谷蕊完成签到，获得积分20

6秒前; fys131415发布了新的文献求助10

7秒前; 晨许沫光完成签到，获得积分10

7秒前; 魏泽洪关闭了魏泽洪的文献求助

7秒前; 酷波er的应助被Firsterchao采纳，获得30

7秒前; 张欢馨的应助被北冥鱼采纳，获得10

9秒前; 打打的应助被淡然明轩采纳，获得10

10秒前; 领导范儿上传了应助文件

12秒前; huomixin1发布了新的文献求助10

13秒前; CodeCraft的应助被dd99081采纳，获得10

14秒前; 山林君子完成签到，获得积分10

14秒前; Skywalker发布了新的文献求助10

15秒前; bkagyin的应助被YUANYUAN1111采纳，获得10

15秒前; ninao发布了新的文献求助50

16秒前; 深情安青的应助被栗先森采纳，获得10

16秒前; wardell发布了新的文献求助10

16秒前; woshi123的应助被科研通管家采纳，获得10

16秒前; 彭于晏的应助被科研通管家采纳，获得10

17秒前; 田様的应助被科研通管家采纳，获得10

17秒前; sanvva的应助被科研通管家采纳，获得100

17秒前; 8R60d8的应助被科研通管家采纳，获得10

17秒前; 8R60d8的应助被科研通管家采纳，获得10

17秒前; 充电宝的应助被科研通管家采纳，获得10

17秒前; Ava的应助被科研通管家采纳，获得10

18秒前; 聪明机器猫完成签到，获得积分10

18秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

19秒前; 旧雨新知发布了新的文献求助10

20秒前; 香蕉觅云上传了应助文件

20秒前; 深情安青上传了应助文件

21秒前